一种用于真空仪器的真空进换样装置,包括真空进样机构、真空泵组件以及功率检测器;
所述真空进样机构包括真空箱、位于所述真空箱外的密封盖以及设在所述真空箱内的靶座组件和驱动组件,无磁移动台厂家,所述真空箱具有真空腔以及连通所述真空腔的进样孔,所述密封盖用于打开或者关闭所述进样孔的外侧开口,所述靶座组件安装在所述驱动组件上,所述驱动组件用于驱动所述靶座组件移动,当所述靶座组件移动至密封所述进样孔的内侧开口时,所述靶座组件与所述密封盖将所述进样孔密封形成过渡腔;
所述真空泵组件包括分子泵、前级泵、预抽阀、回气阀、回气管以及预抽管,所述分子泵连通所述真空腔,所述分子泵还连通所述前级泵,所述前级泵通过所述预抽管连通所述进样孔;所述预抽阀设在所述预抽管上,所述回气管连通所述进样孔,所述回气阀设在所述回气管上。
真空仪使用方法:
将被测的真空管两端断电。被测的真空管不必从开关柜上拆卸,但必须使真空管处于正常的断开状态,并打开真空开关进出线的刀闸;将被测的真空管与仪器接线。具体的操作为:先将仪器接地端接到大地上,再将磁控线圈通过磁场电流线连接仪器的磁场电压正、负端,将高压输出端用高压电缆连接到真空管的静触头上,无磁移动台,将离子电流输入端通过离子电流线(屏蔽线)接至真空管的动触头上;
真空仪器是在材料科学、物理科学领域中已广泛使用的实验和制备仪器,其功能 就是能够让实验者在其提供的真空条件下进行科学试验,无磁移动台价格,而整个真空条件获得的过程需要 耗费一定时间,通常仪器都是由试验人员人工操作的,这样将占用实验者相当一部 分的精力和时间,并且也经常因为没有明确的控制规则造---为误操作而损坏真空部件, 带来---损失。安装不便,以往的人工操作多采用继电器逻辑,大量继电器的使用给安装盒 接线都带来很大不便;扩展性差,当一个实验仪器包含多个真空系统,无磁移动台价格,而每个真空系统在工 作时,又是时而连用时而相对独立的,以往的设计都要从新加入大量的继电器电路,增加了 设计装配的工作量。
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